據業內透露，截至第二季度，ASML EUV 設備出貨總量達到 102 臺，伴隨著需求量的提高和客戶群的擴大，預計 2 年內累計供應量將增加 2 倍以上，標志著 EUV 時代正式拉開帷幕。

據 ETNews 報道，過去四個季度，ASML EUV 設備出貨總計 40 臺，較之前四個季度增長了 66%ASML 今年的出貨目標是 40 臺左右，下半年將供應 25 臺左右

ASML 擴大 EUV 設備供應響應了半導體制造業實現超微電路層的需求盡管每臺設備的價格達到 1.71 億美元，但由于其卓越的工藝成本和省時效果，可以抵消設備采購的成本業內人士指出，通過 EUV 可以降低設備成本和工藝成本，因此，在微加工領域引進 EUV 設備的企業越來越多

根據 ASML 的說法，5—7nm 邏輯半導體每個 EUV 層需要一臺 EUV 設備，16nm 及以下節點 DRAM每個 EUV 層則需要 1.5—2 臺設備三星電子計劃，到今年下半年為止，將 14nm DDR5 DRAM 的 EUV 應用層數從 1 層增加到 5 層，SK 海力士也計劃增加 EUV 應用層數，因此，預計 EUV 設備的需求將進一步增加

除了 EUV 層的增加，EUV 設備的客戶群也在逐漸擴大繼 2018 年三星電子首次引進 7nm 制程的 EUV 設備后，臺積電和 SK 海力士也加入了 EUV 競爭美國的美光和英特爾也在推進 EUV 設備的引進，預計市場規模將進一步擴大

業界預測，EUV 時代將全面加速發展因此，ASML 計劃通過增加設備供應來滿足需求ASML 首席執行官 Peter Wennink 在第二季度財報會議上表示:我們計劃明年將 EUV 設備的產量增加到 55 臺，到 2023 年將達到 60 臺兩年后，市場上將有 240 多臺 EUV 設備投入使用，超過了目前積累的供應量

但據觀察，臺積電已確保了目前供應的半數 EUV 設備臺積電擁有約 50 臺 EUV 設備考慮到 EUV 設備的目前由 ASML 獨家供應，三星電子，SK 海力士等半導體企業很難在短時間內確保有足夠的設備

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